大画面液晶TV、省エネ化へ
本学の小池淳一教授(工学研究科知能デバイス材料学専攻)は、大画面液晶テレビの配線を低抵抗の銅合金にする技術を開発した。
小池教授は以前から半導体の研究をしており、銅とマンガンを混ぜた合金を用いることで抵抗値を下げることに成功していた。今回はこの研究で得られた技術が生かされた。これまでの大型液晶テレビは配線の抵抗が大きく、画像のむらが生じることが問題として挙がっていた。この問題の解決のために、薄膜トランジスタ(TFT)と呼ばれるスイッチの役割をする装置に、銅とマンガンの合金を用いた。この合金はガラスとの間に酸化物をつくり、優れた密着性を示す。また、これまでのアルミニウムを主に使った配線に比べて電気抵抗は半分になり、さらに装置全体の導入コストも下がった。これに加えて電流が双方向に流れること、TFT内部で銅と下地のケイ素が混ざらないこと、といった条件を満たす厚さの酸化皮膜を、酸素プラズマ処理という方法で形成することに成功した。現在、多くの企業がこの方法を用いて新たな液晶テレビを開発しようと動き出している。また、小池教授が開発した銅とマンガンの合金を用いる技術は、有機ELやタッチパネルなど、他分野でもコストダウンに広く応用できると期待されている。
